Si3N4-AMB���~���������c(di��n)
�l(f��)��r(sh��)�g��2023-08-22
��ͨ�^(gu��)���Խ����F��(AMB)��ˇ�γɵ��~/�մɽ���ճ�Y(ji��)��(qi��ng)�ȸ�������Si3N4�մ����Al2O3��AlN�߂����(y��u)���ęC(j��)е���ܺ����õČ�(d��o)���������Si3N4-AMB���~�����ڸߜ��µķ��ۿɿ��Ը���(qi��ng)����SiC�������b��������x��
�����\��һ�I(y��)�猦(du��)Si3N4-AMB���~�����^���P(gu��n)�ĵ������棺Si3N4-AMB���~������Ƃ乤ˇ���~/�������մɽ���Ŀն��ʿ��Ƽ�����ĸߵ͜؛_���ɿ�����
Si3N4-AMB���~���������û��Խ���Ԫ��(Ti��Zr��Ta��Nb��V��Hf��)���ԝ�(r��n)���մɱ�������������~��ͨ�^(gu��)���Խ����F���F����Si3N4�մɰ�������(j��)���_(k��i)�Y���@ʾ��Si3N4-AMB���~������Ƃ����������F�ϵ��Ƃ��c���Խ����F����Ŀǰ�����c(di��n)���y�c(di��n)��
Si3N4-AMB���~�������a(ch��n)��ˇ���̈D
�� �����F�ϵ��x��
Ti��Zr��Hf��V��Nb���dz�Ҋ(ji��n)�ĎN���Խ���Ԫ�������Խ���(r��n)�մɱ��������V�������մ��c���ٵĻ��Է�ӡ�������Ti�����Ԫ�ص�Ag-Cu-Tiϵ�Ͻ��njW(xu��)���о��������(sh��)�H��(y��ng)�����V����һ�N�����F�ϣ���800��950��Ĝض��¿��ԝ�(r��n)������(sh��)�մɱ������F�����^��(qi��ng)�ȸ������ܷ�(w��n)�����Ķ������^�õ،�(sh��)�F(xi��n)�մɺͽ������մɺ��մɵķ����TiԪ�صĻ����^�ã�Ҳ���մɽ��ٻ��^(gu��)������õĻ��Խ���Ԫ�������������F�����մɱ���ĝ�(r��n)����
�� Ag-Cu-Ti�����F�ϵ�ʹ����ʽ
Ag-Cu-Tiϵ�����F�ϵ�ʹ����ʽ�STiԪ�ص��ΑB(t��i)���F�ϵĽM�Ϸ�ʽ��ͬ��������ͬ��
�� �A(y��)ͿTi��(��TiH2��)������Ȼ����A(y��)���κ�Ƭ(ͨ����Ag72Cu28�Ͻ�Ƭ)���@�N����������(hu��)�y�Կ���Ti��TiH2���մɱ������ֲ������ṩ��Ti���������^(gu��)��������(d��ng)�F����Ti�����^(gu��)�ߕr(sh��)�����ό��Е�(hu��)�a(ch��n)���^����ԵĽ����g�������Ӱ��B�ӏ�(qi��ng)�ȡ�
�� �A(y��)�����մɱ�����PVD��CVD�һ��Ti��Ĥ��Ȼ���ټ�Ag-Cu�F����ԓ�����Ć�(w��n)�}����Ti���������Լ��մɱ������e���ٻ�����(d��o)�µĹ�ˇЧ�ʵ����ɱ��ߵĆ�(w��n)�}��
�� ʹ��Ag-Cu-Ti��Ƭ������Ҫ�Ƃ䷽�����۟�܈�Ʒ�����ĩұ�����Ӡ��(f��)�Ϸ����C(j��)е�Ͻ���Ag-Cu-Ti��Ƭ�m�߂�ʹ�ñ������ȾС�ă�(y��u)��(sh��)�������Ƃ��^(gu��)�������׳��F(xi��n)����Ԫ��Ti��������ƫ���Ć�(w��n)�}����(d��o)�ºϽ�׃�����ɲ��ʘO�͡����ӽ��^�����^���������ڇ�(gu��)��(n��i)��δ��(sh��)�F(xi��n)�a(ch��n)�I(y��)����
�� ʹ��Ag-Cu-Ti��������Ag����Cu�ۡ�Ti�۰�������������Ҳ�������y�~�Ͻ�ۻ��y���~�۴���Ag����Cu����TiH2�۴���Ti�ۣ�����ֱ����Ag-Cu-Ti��Ԫ�Ͻ��Ƃ��ĩ���������܄����|׃������ƽ�����ЙC(j��)�ɷ����ó�Ag-Cu-Ti���ࡣ��(du��)���y�~⁺�����������Ƃ乤ˇ���죬��(ji��n)�θ�Ч�����ڸ�����мӟ�r(sh��)�д����ЙC(j��)��]�l(f��)����(d��o)���F�����治���������F(xi��n)�^��ն�����(du��)������F����ˇҪ����Ӈ�(y��n)����
���Խ����F����Si3N4-AMB�����Ƃ乤ˇ�������Ҫ�ĭh(hu��n)��(ji��)������Si3N4-AMB���~������Ƃ����������Խ����F��Ϳ�����մɺ��~Ƭ֮�g��Ȼ��ͨ�^(gu��)�ߜ�����F����ˇ���~Ƭ�F����Si3N4�մɵăɂ�(c��)���γ��~-�F��-Si3N4-�F��-�~�ĽY(ji��)��(g��u)��
�~/Si3N4����ն�
�~/Si3N4�մɽ���Ŀն����DZ��������|(zh��)������Ҫ����֮һ��Ҳ��Ŀǰ��(gu��)��(n��i)Si3N4-AMB�a(ch��n)Ʒʼ�K�y��ͻ�Ƶ�ƿ�i֮һ������(gu��)Rogers��˾�پW(w��ng)�Ĉ�(b��o)���J(r��n)�飬�ڽ���ն�����߅�������ֲ�����[�������Ӱ��˻����늚������������˻���Ŀɿ�������ˣ��~/�մɽ���ն��Ŀ������P(gu��n)��Ҫ�����õĽ���ն���(څ��0%)�܉��C�����ڸߜ���������µķ��ۿɿ�����
�� �ն��γ�ԭ��
��Ag-Cu-Ti�����F��(����ͺ�Ƭ)������Si3N4-AMB����ն��a(ch��n)����ԭ����Ҫ�������c(di��n)��
�� ԭ�ϱ����|(zh��)��������ǰ�մɡ��o(w��)���~����Ƭ����Ą��������ӡ��������ЙC(j��)��Ⱦ�Ȇ�(w��n)�}����(hu��)��(du��)���ϵĝ�(r��n)���չ���ؓ(f��)��Ӱ������F�����控��(l��i)�˝��ڵĿն��L(f��ng)�U(xi��n)��
�� ����Ԫ��ʧ�Ag-Cu-Ti�Ļ���Ԫ��Ti��(du��)��ʮ���������ߜ��F���^(gu��)����������Ҫ����նȃ�(y��u)��10-3Pa������նȟo(w��)���M�㺸��Ҫ��(d��o)��Ti����ʧ�������ϟo(w��)����(r��n)��Si3N4�մɱ�����ɴ���e̓����©���ĬF(xi��n)����
�� �F����ˇ����(sh��)��Ag-Cu-Ti�����F��������800�����ϲ��ܝ�(r��n)��Si3N4���������F���ض��^(gu��)�ͻؕr(sh��)�g�^(gu��)�̣�����(hu��)ʹ��Ti�c�մɱ���ķ���(y��ng)����������(d��o)���F�ϟo(w��)����ȫ��(r��n)���մɱ�����
�� ����ӡˢ�|(zh��)��������e����ӡˢ�^(gu��)���У��^�׳��F(xi��n)����©ӡ��ӡˢ������Ć�(w��n)�}�������ۻ���һ���](m��i)���չ���w�@Щ©ӡ�^(q��)�͕�(hu��)ֱ�ӌ�(d��o)�¿ն����γ���
�� ����Ś⣺�F���^(gu��)���У������Г]�l(f��)���Ě��w��(hu��)�������������γɚ����������������е��ЙC(j��)��ͽ��������ﷴ��(y��ng)Ҳ��(hu��)�a(ch��n)���������S������(y��ng)���M(j��n)�К�����u׃�����ų��Ě��ݕ�(hu��)�ں������������������Ě�ף���δ�ų��Ě���ͬ�ӕ�(hu��)�S�������ۻ����̵��^(gu��)�̜������F������̎���γɿն���
�� ���Ϳն��ʵĴ�ʩ
��ͨ�^(gu��)AMB��ˇ�Ƃ䵪���踲�~������^(gu��)��������(du��)Si3N4�մɺ��~Ƭ�M(j��n)�г��ͺͳ�����̎�����ṩ�^�ߵ�����F���h(hu��n)����Ŀǰ��֪�Ľ��ͽ���ն��ʵķ��������Ӊ����ǿն�������Ҫ��Ӱ��������m��(d��ng)�Ӊ����H����ʹĸ���c�����γɾo�ܵĽ��|�������ڽ��|����(y��ng)�ۻ����M(j��n)�������ҿ�������(qi��ng)�ۻ����ϵ�����(d��ng)�ԣ��D���F������Ě��w���Ķ����Ϳն��ʡ�
AMB���������
���������+��?d��)�ĺ��Ӛ�ձ���՚�ո������ڽ��ͺ��ӿն��ʣ��@��(du��)AMB��ˇҲ��һ�����l(f��)���������^(gu��)��Ҫע����ǵ�?d��)��ڸߜ��¿��ܕ?hu��)��Ti�l(f��)�����W(xu��)����(y��ng)���������Ԛ��w(����������)���ܸ��m����AMB��ˇ��
�ߵ͜؛_���ɿ��Եı��F(xi��n)�DZ������b����ɿ��Ե���Ҫָ��(bi��o)��������SiC�����߹����ضȡ��߹����ܶȰl(f��)չ�ı�����������Ŀ��ߵ͜؛_���������@�ø�����Ҫ��Si3N4-AMB�������AlN-AMB���弰DBC�������ڿɿ��Է���������@�ă�(y��u)��(sh��)���@�N��(y��u)��(sh��)һ����Դ�ڵ������մɱ��탞(y��u)����������������һ����tԴ��AMB��ˇ����(l��i)���~��Si3N4�մɸ��ӷ�(w��n)���ĽY(ji��)������
�� Si3N4�մ�����
�������ጧ(d��o)���Ƿ��b���������Ҫ�����܅���(sh��)֮һ��Ŀǰ���õ������մɰ�ğጧ(d��o)�ʻ�����80��90Wm-1K-1֮�g���䌧(d��o)���������絪���X�մ�����Ҳ���о���������һ���l������������߂��_(d��)�������X��(d��o)��ˮƽ�ĝ������ҵ�������僞(y��u)���Ĕ����g�ԺͿ�����(qi��ng)��(�����ǵ����X�ăɱ�)���m��(d��ng)���͵������մɻ����Ȳ�����(hu��)Ӱ�����ۿɿ������������ξ����������Փ�ጧ(d��o)�ʿ����_(d��)��400W/(m.K)��
ͬ�r(sh��)�������菊(qi��ng)���������d����Ҳ���Ժܺõ�ƥ��������������ģ�K��(du��)�ڷ��b�����������ȵ����X�������X��������o(w��)���Ǹ߿ɿ���AMB��������x�մɲ�����
�� Si3N4-AMB���ߵ͜؛_������
��(du��)��Si3N4��AlN��Al2O3��AMB������-45��150��ߵ͜�ѭ�h(hu��n)�_���Δ�(sh��)���Y(ji��)���l(f��)�F(xi��n)Si3N4-AMB�քe��AlN-AMB��Al2O3-AMB��10����100������ʧЧ�̶ȸ�����
��(du��)��Si3N4-AMB�����AlN-AMB�������_�����g(-40��250��)�a(ch��n)�����Ѽy��ȣ��l(f��)�F(xi��n)ǰ�ߵ��Ѽy�U(ku��)չ�����h(yu��n)���ں������@Ҳ�����Si3N4-AMB����Ě���������(qi��ng)���˻��F(xi��n)���^AlN-AMB������Ӿ�����ԭ�����^�����~�������ߌ�(d��o)���ʺ��ߏ�����(qi��ng)�ȵ�Si3N4�մɿ��Ԝp��Si3N4-AMB���嚈��������(qi��ng)�ȵ��˻������Si3N4-AMB����ķ��ۉ�����
�� �~�ӱ���“��Ƥ�F(xi��n)��”
���ٱ��澧�w�l(f��)���Ϊ�(d��)���x��λ�ƌ�(d��o)�½��ٱ���ֲڻ��ĬF(xi��n)�������Q��“��Ƥ�F(xi��n)��”�������īI(xi��n)������Si3N4-AMB���~�����ڜضț_���^(gu��)���Е�(hu��)�a(ch��n)�����@��“��Ƥ�F(xi��n)��”��ԓ�F(xi��n)���c�~�ӵĄ��x���Ѽy��ȱ����ֱ���P(gu��n)ϵ��
�S�����_���Δ�(sh��)�����ӣ��~�͵�����֮�g�ğᑪ(y��ng)����(d��o)�¾��w��(y��ng)׃�A�������~�c�������Y(ji��)�ϵą^(q��)�����~�����۷e�������~�ӵı���ጷ������F(xi��n)���~�����ؾ��绬��(d��ng)�����汳���Ƅ�(d��ng)���Ķ������x��λ�������~�������x��λ���DZ���ֲڻ���ֱ��ԭ��������~�ľ�����(x��)�������Ƿ�ֹSi3N4-AMB���~����“��Ƥ�F(xi��n)��”����Ч��ʩ��
���û��Խ����F�����g(sh��)�Ƃ��Si3N4-AMB���~���匧(d��o)���Ժ�����(qi��ng)�ȸ������ܷ�(w��n)�����Ǯ�(d��ng)����߸�(j��ng)��(zh��ng)����SiC���������÷��b������ȫ��Ŀǰֻ�Ў����(gu��)��˾�߂��Ʒ�|(zh��)Si3N4-AMB���~��������a(ch��n)���������҇�(gu��)���@һ�I(l��ng)����аl(f��)���^����һЩ�P(gu��n)�I���g(sh��)ƿ�i��δͻ�ơ�
������Si3N4-AMB���b����ĸ��|(zh��)��ԭ���ϵĹ���(y��ng)ʼ�K��ه�M(j��n)��Ҳ�LJ�(gu��)��(n��i)Si3N4-AMB�ИI(y��)�l(f��)չ�t����ԭ��֮һ���ߌ�(d��o)��Si3N4�մɺ�Ʒ�|(zh��)�~���ć�(gu��)�a(ch��n)������(y��ng)������Si3N4-AMB����l(f��)չ�Ą�(d��ng)��ԴȪ��������ԭ���Ϲ���(y��ng)�_(k��i)ʼ����K�a(ch��n)Ʒݔ���ļ��g(sh��)��ˇ·������������(y��ng)������LJ�(gu��)�a(ch��n)Si3N4-AMB����a(ch��n)�I(y��)һֱ��ҪŬ��
��(l��i)Դ���пƾ������V����ˇ��ӿƼ�����˾