SAL-3000ϵ��������ALDԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng) |
|
---|---|
��� | AGUS ALD-ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng) |
��̖ | SAL-3000 |
Ʒ�� | AGUS |
�a(ch��n)�� | �ձ����M(j��n)�� |
SAL-3000 ALDԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)
SAL3000��һ���m�����о��͵�ALDԭ�ӌӳ��e�O(sh��)�䣬ԓ�O(sh��)�����ɴ��d6·ǰ�(q��)�w���m����4Ӣ�磨φ100mm�����»��ײ��ϵ��Ĥ��ԓ�O(sh��)���ڱ����˃�(y��u)����Ĥ��ֲ�����߀���M(j��n)һ��ͨ�^��׃�Ĥ���������M(j��n)һ������Ĥ���|(zh��)��������ԓ�O(sh��)��߀�ɴ��d���iǻ�w��Load lock Chamber��������������e��Ҫ?d��)�ձ��o(h��)�Ę�Ʒ��
SAL-3000 SAL3000+Load Lock Chamber
���ܼ����c(di��n)��
1.�Ĥ�|(zh��)���� |
![]() |
·Ĥ�������≤3% @ 100mm |
|
·���ڃ�(n��i)���������c����ȽY(ji��)��(g��u)�������õij��e�������� |
|
·Ĥ��ɜ�(zh��n)�_�����_(d��)һ��(g��)ԭ�ӌӣ� |
|
·����e�Ƴ̿��_(d��)���o����Ĥ��Pin Hole free�� |
|
·�O�ߵ��؏�(f��)�Լ���(w��n)���� |
|
·����ȱ���ܶȵ� |
|
·�ɳ��L�Ǿ��ͻ�Y(ji��)����Ĥ���x��ضȣ� |
|
2.�ɷN��Ĥ������x | |
·���x��Ĥ���e�ڻ����ϱ��棨SAL-3000D���������±��棨SAL-3000U������Ĥ���e�ڻ����±���ɽ����w�����������L(f��ng)�U(xi��n)�� |
|
3. �ɴ��d���iǻ�w��Load lock chamber���������� |
|
4.�D���Ñ��������|�ز����������������ɴ惦30��N�Ĥ������ |
|
5.���C(j��)�c���ƙC(j��)��һ�w���O(sh��)Ӌ(j��)�� |
|
6. �ɴ����N����� |
|
��ʽ��ձã������l(f��)������β��̎���b�ã�800�����ӟ�����200��ǰ�(q��)�w�ӟ����ȣ��˻��O(sh��)����� |